作者

王超[等] 编著

出版社

机械工业出版社

出版日期

2023

内容简介

本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并着重分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及设备，详细综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。

索书号

TN43/60

馆藏地

临潼校区—骊山校园东区二层工业技术图书借阅区

推介信息发布时间：2024-12-5